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第九六六章 技术难题包干到人(第1/2 页)

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bsec换到了krf准分子激光器和800nm制程工艺的专利技术,还不能生产1um制程工艺的光刻机。

晶圆上面还有5英寸、6英寸和8英寸,制程工艺还有1um�

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